柱状螺旋磁控阴极电弧蒸发源

摘要

本发明公开了一种柱状磁控阴极电弧蒸发源。该电弧源中的磁体沿阴极轴向呈螺旋线型布置。电弧源工作时，阴极表面放电轨迹为螺旋线型。本发明的电弧源整个阴极表面放电均匀，刻蚀均匀，放电面积大，靶材利用率高，使用寿命长，可广泛用于各种真空镀膜装置中。