可普遍安装的端块

摘要

一种用在沉积装置中的端块(100)，用于将圆柱体可消耗靶(150)与磁棒连接到沉积装置的外部，包括至少提供可消耗靶与磁棒之间的相对移动的驱动单元，该驱动单元包括从动轴。驱动单元包括可消耗靶马达和可消耗靶驱动轴和/或磁棒马达和磁棒驱动轴。包括端块(100)的端块壳体(160)基本上与从动轴轴向对称并且同轴。由于轴对称性，端块是可普遍安装的。