公开/公告号CN100504502C
专利类型发明授权
公开/公告日2009-06-24
原文格式PDF
申请/专利权人 中国科学院西安光学精密机械研究所;
申请/专利号CN200710018489.5
申请日2007-08-15
分类号G02B27/00(20060101);G02B9/60(20060101);G02B1/02(20060101);G02B5/04(20060101);G01J3/14(20060101);G01J3/12(20060101);
代理机构61211 西安智邦专利商标代理有限公司;
代理人徐平
地址 710119 陕西省西安市高新区新型工业园区信息大道17号
入库时间 2022-08-23 09:02:33
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2015-10-14
未缴年费专利权终止 IPC(主分类):G02B 27/00 授权公告日:20090624 终止日期:20140815 申请日:20070815
专利权的终止
2009-06-24
授权
授权
2008-06-18
实质审查的生效
实质审查的生效
2008-04-23
公开
公开
机译: 具有远心镜头的双轴扫描仪,采用该双轴扫描仪的激光加工设备以及用于校正由光学系统的结构导致的远心误差的方法
机译: 优化光学系统的使用和功能,在远心暗场照明的情况下在轴上实现光学系统。
机译: 带有该投影光学系统的两侧远心投影光学系统和曝光设备