公开/公告号CN109426445B
专利类型发明专利
公开/公告日2022-03-25
原文格式PDF
申请/专利权人 慧荣科技股份有限公司;
申请/专利号CN201810208664.5
发明设计人 林瑜智;
申请日2018-03-14
分类号G06F3/06(20060101);
代理机构31100 上海专利商标事务所有限公司;
代理人陈亮
地址 中国台湾新竹县竹北市台元街36号8楼之1
入库时间 2022-08-23 13:20:21
机译: 气缸装置,压机装置,压脚装置,气缸装置的操作方法,压脚方法及压机方法
机译: 半导体装置检查方法,半导体装置制造方法以及检查装置