金属表面大厚度、高韧性硬质薄膜断裂韧性的测量方法

摘要

本发明公开了一种金属表面大厚度、高韧性硬质薄膜断裂韧性的测量方法，该方法包括：将气相沉积在金属表面的硬质薄膜置于显微硬度计的载物台调节并固定，然后依次采用小载荷加载测试进行多次的加载‑保载‑完全卸载预制短小裂纹，采用大载荷加载测试进行单次的加载‑保载‑卸载扩展形成细长裂纹，测得裂纹长度数值并计算断裂韧性KIC数值，重复该测试与测量、计算过程，得到多个断裂韧性KIC数值后取算数平均值表征断裂韧性。本发明采用小载荷加载多次压入和大载荷加载单次压入的方法促进了裂纹的萌生和扩展，得到有效裂纹，实现对大厚度硬质薄膜断裂韧性的定量评价，解决了难以诱发有效裂纹的问题，提高了断裂韧性结果的准确性。