用于调节过程参数中的空间相关变差的方法和系统

摘要

本发明提供用在电路的统计定时期间调节过程参数中的空间相关的变差的方法、系统和程序产品。在一个实施例中，该方法包括将电路的区域分为多个网格单元；将独立随机变量与多个网格单元中的每一个相关联；和将第一网格单元的至少一个空间相关的参数表示为与第一网格单元和至少一个相邻网格单元相关的独立随机变量的函数。