一种柱状透镜、柱状分束透镜、光探测器及光探测器阵列

摘要

本发明实施例提供一种柱状透镜、柱状分束透镜、光探测器及光探测器阵列，该柱状透镜包括：包括底层、氧化层和光栅层，所述柱状透镜为SOI结构，其中：所述氧化层设置在所述底层和所述光栅层之间；所述光栅层，用于对入射平行光进行相位调制，以使得透射光会聚成一条线状光斑；所述光栅层是由多种预设规格的方形光栅块按照预设排列顺序组成的，其中，每个方形光栅块的周期相同，相同预设规格的方形光栅块的长度和宽度相同，且每个方形光栅块的高度相同本发明实施例克服了传统柱状透镜体积大、不易制备及难于集成的缺点，具有易设计、体积小、易集成以及与CMOS工艺相兼容等优点，广泛应用于光显示和光通信系统，光探测器阵列实现大功率特性。