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工作空间和洁净空间系统

摘要

本发明涉及一种用于在工作对象(34)上执行工作过程的工作空间,所述工作空间具有由多个相应在边缘侧上彼此连接的壁区段(4、5、6、7、8;77)限定的工作容积(3;68),其中壁区段(4、5、6、7、8;77)的至少一个内表面(12、17;42、43;74、75、76)被更换膜(18;52;62)遮盖。

著录项

  • 公开/公告号CN110013890B

    专利类型发明专利

  • 公开/公告日2022-02-01

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 费斯托股份两合公司;

    申请/专利号CN201811517785.4

  • 发明设计人 S.绍茨;U.普拉赫特;F.豪贝尔;

    申请日2018-12-12

  • 分类号B01L1/04(20060101);B01D46/54(20060101);B01D53/22(20060101);B01D65/02(20060101);

  • 代理机构72001 中国专利代理(香港)有限公司;

  • 代理人方莉;李雪莹

  • 地址 德国埃斯林根

  • 入库时间 2022-08-23 13:04:10

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