具有自极化效应的铌镁酸铅－钛酸铅铁电薄膜的制备方法

摘要

本发明公开了一种具有自极化效应的铌镁酸铅-钛酸铅铁电薄膜材料的制备方法，该方法是采用化学溶液沉积法：溶液由醋酸铅、醋酸镁、乙醇铌、正丁醇钛、乙二醇甲醚和乙酰丙酮组成，配制成0.1-0.3M的前驱体溶液；采用旋转镀膜方式得到凝胶膜，然后在快速退火中分段进行热处理，形成薄膜材料；重复该过程，直至得到理想厚度的薄膜材料。本发明的优点是：整个工艺过程操作简便、成本较低、可制备大面积均匀薄膜。采用本发明方法在LaNiO₃/Pt/Ti/SiO₂/Si基片上得到的薄膜，经测量不施加偏场时的热释电系数可达1.6×10^-8Ccm^-2K^-1。