流体供给装置的故障诊断装置及故障诊断方法

摘要

本发明提供流体供给装置的故障诊断装置及故障诊断方法，提高流体供给装置的故障诊断的精度。流体供给装置(60)的故障诊断装置(200)具备：第1取得部，取得流体喷射前的流体压力及泵转速；第2取得部，取得流体喷射中的流体压力及泵转速；泵转速差算出部，算出流体喷射前的流体压力与流体喷射中的流体压力一致时的流体喷射中的泵转速与流体喷射前的泵转速的差即泵转速差；及异常判定部，基于泵转速差来判定从喷射装置(62)喷射的流体的流量是否产生了异常。