偏振器装置以及具有偏振器装置的EUV辐射产生设备

摘要

本发明涉及一种偏振器装置(1)，该偏振器装置用于使激光射束(2)偏振，该偏振器装置包括：布置在激光射束(2)的射束路径中的多个板状光学元件(5，16)，所述多个板状光学元件分别具有用于激光射束(2)的射束入射面(5a，6a，...)以及用于激光射束(2)的射束出射面(5b，6b，...)，其中，相应的板状光学元件(5，16)的射束入射面(5a，6a，...)相对于激光射束(2)以布鲁斯特角(OB)地取向。板状光学元件(5，16)的射束入射面(5a，6a，...)与射束出射面(5b，6b，...)彼此分别以至少一个楔角(γ1，γ2)取向。本发明还涉及一种具有这种偏振器装置(1)的EUV辐射产生设备。