工序和质量关系的模型生成装置及模型生成方法

摘要

提供一种装置和方法，根据可与工序的状态相关取得、通过有关与质量的关联的预测而未被收入的多种信息，能够生成用于预测对象品的质量的模型。模型生成装置(10)输入在构成工序的各工序步骤执行期间中时序方式取得的、作为与工序状态相关联信息的工序状态信息和有关该工序中被处理的对象品的检查结果信息，生成用于表示从工序状态信息中提取的工序特征量和检查结果信息的关系的工序-质量模型。特征量提取部(10b)对每个对象品和每个工序步骤提取特征量。解析部(10e)使用根据相关单位对象品的通用关系而形成对应的工序特征量和检查结果信息，通过执行基于数据挖掘的解析，从而生成工序-质量模型。