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高压处理方法及高压处理装置

摘要

本发明提供一种高压处理方法及高压处理装置,使用高压流体而对被处理体施予高压处理,其中,将所述高压流体冲撞到配置在高压处理室内的所述被处理体表面上之后,沿其表面流到该被处理体外边。

著录项

法律信息

  • 法律状态公告日

    法律状态信息

    法律状态

  • 2012-12-19

    未缴年费专利权终止 IPC(主分类):H01L 21/00 授权公告日:20090408 终止日期:20111022 申请日:20031022

    专利权的终止

  • 2009-04-08

    授权

    授权

  • 2004-07-28

    实质审查的生效

    实质审查的生效

  • 2004-05-19

    公开

    公开

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