公开/公告号CN110646168B
专利类型发明专利
公开/公告日2021-12-14
原文格式PDF
申请/专利权人 苏州东辉光学有限公司;
申请/专利号CN201910944524.9
申请日2019-09-30
分类号G01M11/02(20060101);
代理机构44360 深圳市道臻知识产权代理有限公司;
代理人陈琳
地址 215500 江苏省苏州市苏州工业园区唯亭葑亭大道439号1号厂房
入库时间 2022-08-23 12:57:31
机译: 正球面像差校正方法,例如激光腔,涉及利用激光腔内的负球差光学装置补偿正球差,其中该装置由透镜组成
机译: 自聚焦装置,透镜装置和自聚焦方法
机译: 球差校正静电透镜,输入透镜,电子光谱仪,光发射电子显微镜和测量系统