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化学镀金属的加工方法及具有化学镀金属的结构

摘要

本发明提供了一种化学镀金属的加工方法及具有化学镀金属的结构。该加工方法中,具体是通过第一预镀处理和第二预镀处理实现目标金属能够顺利的形成在顶层金属层上,并且在退镀第一过渡金属之后还将衬底结构置于含目标金属的镀液中,此时若顶层金属层上残留有第一过渡金属,残留的第一过渡金属即会将目标金属置换于顶层金属层上,避免了残留的第一过渡金属对后续执行第二预镀处理造成影响,保障后续形成的第二过渡金属其整体质地均致密且精细,进而提高后续置换出的目标金属的品质,防止最终化学镀形成的化学镀金属出现颜色异常、表面鼓包等问题。

著录项

  • 公开/公告号CN113322452B

    专利类型发明专利

  • 公开/公告日2021-11-19

    原文格式PDF

  • 申请/专利号CN202110883722.6

  • 发明设计人 眭小超;

    申请日2021-08-03

  • 分类号C23C18/18(20060101);C23C18/31(20060101);H01L21/288(20060101);

  • 代理机构31237 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙);

  • 代理人周耀君

  • 地址 312000 浙江省绍兴市皋埠镇临江路518号

  • 入库时间 2022-08-23 12:49:08

法律信息

  • 法律状态公告日

    法律状态信息

    法律状态

  • 2022-07-15

    专利权的转移 IPC(主分类):C23C18/18 专利号:ZL2021108837226 登记生效日:20220705 变更事项:专利权人 变更前权利人:绍兴中芯集成电路制造股份有限公司 变更后权利人:绍兴中芯集成电路制造股份有限公司 变更事项:地址 变更前权利人:312000 浙江省绍兴市皋埠镇临江路518号 变更后权利人:312000 浙江省绍兴市越城区皋埠镇临江路518号 变更事项:专利权人 变更前权利人: 变更后权利人:中芯国际集成电路制造(上海)有限公司

    专利申请权、专利权的转移

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