公开/公告号CN113322452B
专利类型发明专利
公开/公告日2021-11-19
原文格式PDF
申请/专利权人 绍兴中芯集成电路制造股份有限公司;
申请/专利号CN202110883722.6
发明设计人 眭小超;
申请日2021-08-03
分类号C23C18/18(20060101);C23C18/31(20060101);H01L21/288(20060101);
代理机构31237 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙);
代理人周耀君
地址 312000 浙江省绍兴市皋埠镇临江路518号
入库时间 2022-08-23 12:49:08
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2022-07-15
专利权的转移 IPC(主分类):C23C18/18 专利号:ZL2021108837226 登记生效日:20220705 变更事项:专利权人 变更前权利人:绍兴中芯集成电路制造股份有限公司 变更后权利人:绍兴中芯集成电路制造股份有限公司 变更事项:地址 变更前权利人:312000 浙江省绍兴市皋埠镇临江路518号 变更后权利人:312000 浙江省绍兴市越城区皋埠镇临江路518号 变更事项:专利权人 变更前权利人: 变更后权利人:中芯国际集成电路制造(上海)有限公司
专利申请权、专利权的转移
机译: 化学镀金属的方法和结构电路
机译: 具有不同横向密度的柱子上金属的均匀电化学镀覆及相关技术
机译: 具有不同横向密度的柱子上金属的均匀电化学镀覆及相关技术