一种用于平面光波导热光器件的微加热装置及其制备方法

摘要

本发明的用于平面光波导热光器件的微加热装置，包含光传输通道、连接外部电源的两个接触点，两个接触点分别经连接臂与光传输通道相连，光传输通道为脊型光波导，由衬底和自下而上依次沉积在衬底上的隔离层、芯层、上包层和热电极薄膜组成，其中上包层、热电极薄膜和芯层的宽度相同，两个接触点及连接臂在高度方向上具有与光传输通道相同的层结构。其制备包括先采用光刻方法一次形成光传输通道、连接臂及接触点的图形，然后利用刻蚀方法形成微加热装置。本发明仅需单次光刻，避免套刻工艺，大大简化了制作工艺，而且热功耗降低，尤其适用于小型化平面光波导热光器件。