晶圆翻转装置和晶圆传输系统

摘要

本发明实施例提供一种晶圆翻转装置，包括：安装框架；设置在所述安装框架中的支撑架组，所述支撑架组包括至少两个支撑架，每个所述支撑架上设置有多个支撑槽，所述支撑槽具有支撑面，所述支撑面用于对沿第一方向伸入所述安装框架中的晶圆进行支撑；位于不同支撑架上的且用于支撑同一晶圆的支撑面位于同一平面上；设置在所述安装框架中的至少一组保持架组，每组所述保持架组包括至少两个保持架，同一组所述保持架组中的所述保持架均位于所述支撑架组的同侧；所述保持架上设置有导向槽，所述导向槽用于在所述晶圆支撑于所述支撑架时，卡持所述晶圆的边缘。本发明还提供了一种晶圆传输系统。本发明能够减少晶圆划伤或破片的几率。