薄膜晶体管、具有该薄膜晶体管的阵列基板、显示面板和显示装置、及其制造方法

摘要

本申请公开了一种薄膜晶体管，其包括基体衬底；位于所述基体衬底上的有源层，该有源层包括沟道区、源极接触区、和漏极接触区；位于沟道区远离基体衬底一侧的栅绝缘层；以及位于栅绝缘层远离沟道区一侧的栅极；所述栅绝缘层由硅氧烷类有机材料制成。