厚度测定装置、厚度测定方法及厚度测定程序

摘要

本发明公开厚度测定装置。所述厚度测定装置可包括接收根据反射模式及透过模式中至少一个模式的太赫兹波的太赫兹波信号处理部、考虑所述第一反射太赫兹波与所述第二反射太赫兹波之间的第二时间差信息获取所述厚度测定对象体的折射率信息的折射率信息获取部及考虑所述折射率信息获取所述厚度测定对象体的厚度信息的厚度信息获取部。本发明利用向所述厚度测定对象体照射的太赫兹波获取所述厚度测定对象体的折射率，可利用获取的所述折射率获取所述厚度测定对象体的厚度，因此，能够在短时间内测定所有所述厚度测定对象体的折射率及厚度。