一种基于太赫兹脉冲的卡规式厚度测量装置及方法

摘要

本发明公开了一种基于太赫兹脉冲的卡规式厚度测量装置，包括太赫兹时域光谱系统主机、太赫兹测量装置、石英窗口及金属板；太赫兹测量装置用于发射和接收太赫兹波，其通过光纤线缆与太赫兹时域光谱系统主机连接；太赫兹时域光谱系统主机对从太赫兹测量装置接收的太赫兹波进行记录，并显示和处理太赫兹时域信号；石英窗口通过连接件安装在太赫兹测量装置上，金属板放置于石英窗口下方，太赫兹测量装置、石英窗口及金属板相互平行，保证太赫兹测量装置发射的太赫兹波垂直入射石英窗口并被金属板反射。本发明同时公开了一种基于太赫兹脉冲的卡规式厚度测量方法。