micro LED巨量转移装置及micro LED巨量转移方法

摘要

一种micro LED巨量转移装置及其转移方法，micro LED巨量转移装置，包括：光照模块、转移模块、清洗模块以及干燥模块，光照模块设置在整个装置的最上面，光照模块内设置有掩膜板；转移模块设置在所述光照模块的下方，所述转移模块内包括：蓝宝石基板、micro LED芯片、传送带以及载板，待转移的所述micro LED芯片正对于所述掩膜板的开口处设置；清洗模块包括：传送带、清洗溶液和清洗喷头；所述干燥模块包括：传送和干燥源；有益效果：转移时，将掩膜板的开口处正对于待转移的所述micro LED芯片，可以一次性转移多个micro LED芯片，实现micro LED芯片的巨量转移，提升micro LED的转移效率；同时，所述传送带上设置有粘胶层，减少了与所述micro LED芯片接触的次数，提高了micro LED巨量转移良率。