一种精确调控原子力显微镜针尖倾角的方法

摘要

本发明公开了一种精确调控原子力显微镜针尖倾角的方法，该方法通过高能离子束(如氦离子)注入到针尖底部附近，使得针尖附件衬底材料发生隆起，从而引起针尖的倾斜，类似比萨斜塔效应，可以实现针尖的倾斜。通过控制离子束注入的剂量，可以控制隆起的体积，控制针尖倾斜的角度。该方法可以精确控制原子力探针针尖的倾斜角，控制纳米柱子之间的距离。