一种双视场光相干断层扫描成像系统及材料厚度检测法

摘要

本发明涉及一种双视场光相干断层扫描成像系统及材料厚度检测法，扫频光学相干断层扫描成像系统包括扫描成像系统，以及给扫描成像系统提供光源的扫频光源，扫描成像系统包括分别与扫频光源对应衔接的样品臂和参考臂，扫频光源分别给所述样品臂和参考臂提供采样光源或参考光源；样品臂还对应有样品放置平台，样品放置平台包括定位待测样品的姿态调整单元；样品臂与参考臂返回的光发生干涉形成干涉信号，干涉信号由平衡光电探测器检测并回传给PC机。本发明提供了一种双侧视图OCT系统，将OCT技术进一步扩展到了不透明材料的厚度测量，提高了测量非透明材料厚度的精度。