一种高品质因数的薄膜体声波谐振器

摘要

本发明涉及一种高品质因数的薄膜体声波谐振器，包括上表面带有凹槽2的衬底1、位于衬底1上方的底电极层3、压电层4、带有空气桥结构6的顶电极层5，其特征在于，所述空气桥结构6内设有可起到对横向声波回弹作用并提升薄膜体声波谐振器品质因数的声回弹结构7；所述声回弹结构7的材质为薄膜介质；所述声回弹结构7以卧式设置在空气桥结构6内的桥腔上方区域，所述回弹结构7的底端面与空气桥结构6的桥腔下方区域悬空结构之间留有空气间隙8，所述声回弹结构7的顶端面与空气桥结构6的桥腔仰顶面紧贴，所述声回弹结构7的左侧面和右侧面分别与空气桥结构6的桥腔支撑结构相邻的内侧面紧贴。本发明能显著提升薄膜体声波谐振器的品质因数。