公开/公告号CN108982433B
专利类型发明专利
公开/公告日2021-09-03
原文格式PDF
申请/专利权人 锐准医光股份有限公司;
申请/专利号CN201710416404.2
申请日2017-06-05
分类号G01N21/64(20060101);G01N21/45(20060101);
代理机构11021 中科专利商标代理有限责任公司;
代理人任岩
地址 萨摩亚阿皮亚海滩路NPF大楼1楼维斯特拉公司服务中心
入库时间 2022-08-23 12:25:31
机译: 使用不对称极化的干涉仪,该偏振仪能够控制由于干涉光而产生的干涉图案的对比度,该干涉光接近采用图像拾取装置和光学装置的干涉光
机译: 用于形成光学干涉层的涂布液,通过使用该涂布液,抗反射膜,偏光板和显示装置产生的光学干涉层
机译: 剪切干涉测量方法和剪切干涉仪,投影光学系统的制造方法,投影光学系统以及投影曝光装置