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传授设备和传授方法

摘要

提供一种传授设备和传授方法,其便于将保持器精确地设置在预定位置,并且最小化制造工艺中的麻烦步骤。传授设备(5)包括由载送设备(1)的保持器(11)保持的第一构件(51)、贴附到晶片舟(2)或安装架以便当保持器(11)设置得接近目标位置时与由保持器(11)保持的第一构件(51)相对的第二构件(52)、输出单元(55)和运算单元(540)。第一构件(51)包括距离传感器(512),其产生表示距离传感器和与第一构件(51)相对的第二构件(52)的表面之间的距离的传感器信号。在与第一构件(51)相对的第二构件(52)的表面上,提供基准标记(A)。第一构件(51)包括成像装置(513),其拍摄包括基准标记(A)的图像,并产生图像数据。

著录项

  • 公开/公告号CN100444348C

    专利类型发明授权

  • 公开/公告日2008-12-17

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 恩益禧电子股份有限公司;

    申请/专利号CN200610149346.3

  • 发明设计人 远山敏浩;佐间野肇;

    申请日2006-11-21

  • 分类号H01L21/677(20060101);H01L21/68(20060101);H01L21/00(20060101);

  • 代理机构11219 中原信达知识产权代理有限责任公司;

  • 代理人孙志湧;陆锦华

  • 地址 日本神奈川

  • 入库时间 2022-08-23 09:01:54

法律信息

  • 法律状态公告日

    法律状态信息

    法律状态

  • 2017-12-15

    专利权人的姓名或者名称、地址的变更 IPC(主分类):H01L 21/677 变更前: 变更后: 申请日:20061121

    专利权人的姓名或者名称、地址的变更

  • 2010-12-29

    专利权人的姓名或者名称、地址的变更 IPC(主分类):H01L 21/677 变更前: 变更后: 申请日:20061121

    专利权人的姓名或者名称、地址的变更

  • 2010-12-29

    专利权人的姓名或者名称、地址的变更 IPC(主分类):H01L 21/677 变更前: 变更后: 申请日:20061121

    专利权人的姓名或者名称、地址的变更

  • 2008-12-17

    授权

    授权

  • 2008-12-17

    授权

    授权

  • 2007-07-25

    实质审查的生效

    实质审查的生效

  • 2007-07-25

    实质审查的生效

    实质审查的生效

  • 2007-05-30

    公开

    公开

  • 2007-05-30

    公开

    公开

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