分数分形光子筛的构造方法及其制成的光子筛

摘要

本发明公开了一种分数分形光子筛的构造方法，包括确定分数分形光子筛的第一最优比值和第二最优比值；根据分数分形光子筛的第二最优比值确定其对应的分数分形光子筛的最优切趾窗口值；构造最终的分数分形光子筛。本发明还公开了一种采用所述分数分形光子筛的构造方法构造的光子筛。本发明提供的这种分数分形光子筛的构造方法及其制成的光子筛，制作简单，而且能产生带有许多次焦点可任意设计的一级主焦点，也能降低高级衍射的光强，并且能够同时在多个平面成像，在三维空间中同时捕获微粒，以及用于多平面光刻。