一种CVD合成金刚石生长前刻蚀控制方法及控制装置

摘要

本发明涉及一种CVD合成金刚石生长前刻蚀控制方法及控制装置。一种CVD合成金刚石生长前刻蚀控制方法，包括步骤：S1、将金刚石籽晶放进刻蚀仓中，进行刻蚀操作；S2、光谱检测仪按照预定检测方式实时监测获得籽晶上方等离子体的光谱数据；S3、光谱检测仪将所述光谱数据发送到控制器中；S4、所述控制器检测是否存在目标数据，若是，则刻蚀完成；若否，则执行步骤S2。本发明提供的CVD合成金刚石生长前刻蚀控制方法，通过对刻蚀过程中的等离子体参数进行观测，可以得到谱峰强度与时间的关系，精确控制刻蚀时间，避免无效率的生产活动，提高了产品的质量。