铝材表面的类金刚石覆膜改性方法及其装置

摘要

本发明公开了铝材表面的类金刚石覆膜改性方法及其装置。装置包括绝缘体反应室，反应室与化学气相沉积的供气系统及真空系统相连通，在反应室内有陶瓷围成的封闭室和两块上下平行的电极，其中上电极位于封闭室中，其下表面紧贴封闭室的底板面，与等离子体激发脉冲电源相连，下电极接地并固定在封闭室外的加热器上，供气管的喷嘴位于两平行电极间。采用该装置以C₂H₆、H₂、Ar组成的混合气体为反应源气体，在铝材表面涂覆类金刚石(DLC)薄膜。本发明工艺简单、成本低，实现了在铝材表面涂覆类金刚石薄膜，大大提高了Al/DLC复合材料的表面硬度、耐腐蚀性和电绝缘性等综合性能。且成膜速度快，膜厚可达4-6μm而不脱落，结合牢固。