公开/公告号CN107278174B
专利类型发明专利
公开/公告日2021-08-06
原文格式PDF
申请/专利权人 应用材料公司;
申请/专利号CN201680006569.6
发明设计人 戴维·阿尔瓦雷斯;吉米·K·阿特金森;
申请日2016-01-15
分类号B08B1/04(20060101);H01L21/67(20060101);
代理机构11006 北京律诚同业知识产权代理有限公司;
代理人徐金国;赵静
地址 美国加利福尼亚州
入库时间 2022-08-23 12:16:25
机译: 压模制品,其采用具有摩擦增强图案的圆周表面在湿化学过程中接触基材
机译: 使用具有摩擦增强图案的外周表面的压模制品,以在湿化学过程中与基材接触
机译: 压缩模制品,采用带有摩擦力增强型图案的周向表面,以与湿化学过程中的基材接触