公开/公告号CN111397907B
专利类型发明专利
公开/公告日2021-08-03
原文格式PDF
申请/专利权人 浙江大学;
申请/专利号CN202010113970.8
申请日2020-02-24
分类号G01M15/10(20060101);G01N21/45(20060101);G01L9/08(20060101);G01K7/02(20210101);G01K1/024(20210101);
代理机构33200 杭州求是专利事务所有限公司;
代理人郑海峰
地址 310058 浙江省杭州市西湖区余杭塘路866号
入库时间 2022-08-23 12:14:20
机译: 包括相同的减影方法和成像光学系统的减影装置成像装置
机译: 装备有相同的减影装置和成像设备,减影方法和成像光学系统
机译: 装备有相同的减影装置和成像设备,减影方法和成像光学系统