一种电润湿介电液滴致动装置及其制造方法

摘要

本发明公开了一种电润湿介电液滴致动装置及其制造方法。一种制造包括一个或多个面的电润湿介电液滴致动装置的方法。该方法包括使用增材制造工艺，沉积非导电材料以形成基板和围绕基板的微流体结构；沉积导电材料，用于形成嵌入基板内的连接端和电极阵列；沉积电介质和疏水材料，以形成覆盖电极和基板的层；将具有第一和第二侧面的盖子设置在微流体结构上并在电极上方留下空间；其中盖子的第二侧面具有导电和疏水层；并且盖子的第二侧面对电极阵列。