一种纳米氮化铌铝钇/非晶氮化硅双相超硬涂层及其沉积方法

摘要

本发明涉及一种纳米氮化铌铝钇/非晶氮化硅双相超硬涂层及其沉积方法，超硬涂层为四层结构：最内层为纯铌粘结层，厚度为0.05‑0.5微米；次内层为氮化铌过渡层，厚度为0.05‑1.0微米；次外层为梯度层，由内向外氮化铌成分逐渐降低、氮化铌铝钇/氮化硅成分逐渐提高，厚度约0.1‑1.0微米，可防止应力界面上的集中；最外层为氮化铌铝钇/氮化硅复合耐磨层，厚度为1‑10微米；涂层总厚度1.2‑12.5微米。涂层和硬质合金基体结合力达70‑105N，涂层硬度40‑60GPa，摩擦系数0.20‑0.55，涂层抗氧化温度达750℃以上，涂覆微钻或铣刀寿命比未涂覆微钻或铣刀提高4‑8倍。