一种大口径光学玻璃研磨抛光系统及方法

摘要

本发明涉及光学元件加工系统及方法，为解决目前针对大口径光学元件的两种加工制造方法中，古典法抛光加工效率低且人为因素多，而高精度CCOS设备控制复杂且成本高的技术问题，提供一种大口径光学玻璃研磨抛光系统及方法，系统包括研抛末端执行器、转台、工业机器人、控制单元和检测单元，研抛末端执行器包括旋转驱动单元、直线位移驱动器、第一固定座、第二固定座和磨头；研抛末端执行器的磨头在旋转驱动单元和直线位移驱动器驱动下实现旋转和轴向运动，工业机器人带动研抛末端执行器运动，转台位于磨头的正下方，检测单元用于检测待加工件面型，控制单元根据采集的数据控制相关设备进行加工。