一种用于激光器与硅波导耦合的具有电极夹具的耦合装置

摘要

本发明公开一种用于激光器与硅波导耦合的具有电极夹具的耦合装置，包括工作台、立柱和横梁，工作台上依次设有耦合组件、耦合定位夹具及收光组件；耦合组件包括固定在工作台上的X向第一滑轨、三向浮动调整机构、角度调整仪，角度调整仪的水平端部设有可升降的电极夹具；耦合定位夹具包括固定安装在工作台上的第一支架，第一支架上方设有第一载物台及定位夹具；收光组件包括光电探测器、透镜套管和光束质量分析仪，光电探测器正对电极夹具及第一载物台；耦合定位夹具正上方设置有可移动的第一相机组件，侧边安装有可移动的第二相机组件；本耦合装置调整的自由度高，方向及角度均便于调整，光束易于调节并对准，耦合成功率较高。