一种耐腐蚀耐磨损六硼化镧复合碳薄膜及其沉积方法

摘要

本发明公开了一种耐腐蚀耐磨损六硼化镧复合碳薄膜及其沉积方法，主要用于氯碱化工、石油化工、核工业和废水处理等阀门装置耐磨防腐。本发明六硼化镧复合碳薄膜的结构：自工件表面由内向外依次为Cr粘结层、CrN/六硼化镧多层结构、六硼化镧复合碳薄膜。本发明六硼化镧复合碳薄膜多层结构和梯度渐变及非晶纳米晶弥散强化，单一薄膜的液流通道被打断，阻止了多孔涂层液体易于穿过孔道腐蚀界面的可能；六硼化镧和氮化铬的交替设计，提高了基底膜硬度和承载性能；利用反应磁控溅射沉积的六硼化镧复合碳薄膜具有很强的化学惰性和低摩擦性能，可以保障阀门密封表面在腐蚀介质中长寿命、高可靠服役。