一种生长厚纳米金刚石膜的方法

摘要

一种生长厚纳米金刚石膜的方法，属于超硬材料生长领域。它是将含有氢气、含碳气体、惰性气体的混合气体，通过内有水冷通道的进气装置进入沉积室内，喷向热丝和衬底。对热丝阵列施以相对于衬底支撑台为正电极的下偏压，以及相对于进气装置为负电压的上偏压，使衬底沉积表面成核；对于衬底支撑台为0电压或负电压的下偏压，以及相对热丝阵列施以相对于进气装置为负电压的上偏压，使衬底沉积表面金刚石膜生长。当控制两个偏压的有无、大小、间隔时，使得金刚石的成核过程和生长过程交替进行，成核工艺与生长工艺交替进行抑制晶粒长大。本发明使初始成核密度和二次成核密度增大，生长速度加快，可以生长出厚纳米金刚石膜。