公开/公告号CN110598255B
专利类型发明专利
公开/公告日2021-07-06
原文格式PDF
申请/专利权人 华南理工大学;
申请/专利号CN201910749267.3
申请日2019-08-14
分类号G06F30/23(20200101);G16C20/30(20190101);G16C20/70(20190101);
代理机构11616 北京盛凡智荣知识产权代理有限公司;
代理人范国刚
地址 510640 广东省广州市五山路381号华南理工大学五山校区麟鸿楼308
入库时间 2022-08-23 12:04:53
机译: 一种提高化学气相沉积膜沉积速率的方法
机译: 化学气相沉积的支持者,能够防止因不均匀加热而生长半导体的物质,一种化学气相沉积设备,以及一种使用化学气相沉积设备的加热方法
机译: 人流速率预测设备,人流速率预测方法和人流速率预测程序