公开/公告号CN111707192B
专利类型发明专利
公开/公告日2021-07-06
原文格式PDF
申请/专利权人 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所;
申请/专利号CN202010652740.9
发明设计人 曹智睿;
申请日2020-07-08
分类号G01B11/00(20060101);
代理机构11227 北京集佳知识产权代理有限公司;
代理人刘新雷
地址 130033 吉林省长春市长春经济技术开发区东南湖大路3888号
入库时间 2022-08-23 12:04:32
机译: 半色调相移光掩模,用于半色调相移光掩模的坯料以及制造半色调相移光掩模的方法
机译: 半色调相移光掩模及其用于半色调相移光掩模的坯料以及使用该半色调相移光掩模形成图案的方法
机译: 半色调相移光掩模及其用于半色调相移光掩模的坯料以及使用该半色调相移光掩模形成图案的方法