一种EBSD测试样品台及其应用

摘要

本发明涉及一种EBSD测试样品台，属于试验器材领域，包括夹具体和底座，夹具体通过其底端设置在底座上，其特征在于，夹具体为直角梯形的四棱柱，所述夹具体的四个侧端面沿其周向依次为第一端面、第二端面、第三端面、第四端面，第一端面作为夹具体的工作面，其与夹具体的底端呈70°夹角，夹具体上开有至少一开槽，开槽分别与第一端面、第二端面、第三端面相连通；与夹具体相配合的还设置有挡板，挡板设置于所述开槽中并与夹具体可分离式连接，且挡板的一侧端面作为工作端；本发明能够适用于薄型样品如电池极片、无机晶体薄膜等的EBSD测试，尤其适用于日立SU8000系列冷场扫描电镜的EBSD测试。