回音壁微腔声学传感器

摘要

本发明公开了一种回音壁微腔声学传感器及其双环谐振腔的制备方法。所述传感器包括激光器、光谱系统和双环谐振腔；所述激光器用于发射激光至光谱系统；所述光谱系统用于将激光垂直反射至双环谐振腔。本发明提高了声学传感器的灵敏度且能高效检测声波。