利用单个发生器和开关元件而以空间上不同的等离子体二级元件驱动空间上独立的谐振结构

摘要

一种用于处理工件的等离子体反应器，此等离子体反应器包括：外壳，在外壳内的工件支座，此工件支座对着外壳的上部，工件支座和外壳的上部确定了两者之间的处理区域，处理区域基本延伸跨越晶片支座的直径，外壳具有从其中穿过的第一对和第二对开口，第一对和第二对开口的每两个开口基本邻近工件支座的相对侧。第一中空管道位于处理区域外部且连到第一对开口，提供延伸穿过管道和跨越处理区域的第一环形通道。第二中空管道位于处理区域外部且连到第二对开口，提供延伸穿过管道和跨越处理区域的第二环形通道。第一和第二等离子体源功率应用装置分别电感耦合到第一和第二中空管道的内部，第一和第二等离子体源功率应用装置各自能维持第一和第二环形通道中各自通道内的等离子体。一射频功率发生器提供射频输出电流，电流开关网络连到射频功率发生器和第一、第二等离子体源功率应用装置之间，将射频输出电流的各个周期时间段施加到第一和第二等离子体源功率应用装置中各自的应用装置。