基于四象限光栅及探测器的二维微位移传感器

摘要

本发明属于微位移传感器技术领域，具体涉及一种基于四象限光栅及探测器的二维微位移传感器，包括第一激光器、第二激光器、第一准直透镜、第二准直透镜、可动光栅、四象限光栅、四象限探测器，所述第一激光器、第二激光器分别设置在第一准直透镜、第二准直透镜的正上方，所述第一准直透镜、第二准直透镜的下方设置有可动光栅，所述可动光栅的下方设置有X轴四象限光栅、Y轴四象限光栅，所述X轴四象限光栅、Y轴四象限光栅的下方分别设置有第一四象限探测器、第二四象限探测器。本发明通过四象限光栅及探测器产生四路信号进行差分，有利于后续高倍细分，且可消除背景噪声及直流分量，提高微位移检测的分辨率和精度。本发明用于微位移的测量。