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苯乙烯衍生物、苯乙烯聚合物、光敏树脂组合物和图案化方法

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摘要

本发明公开了一种用于层间绝缘膜或表面保护膜的光敏树脂组合物，该组合物具有优异的分辨率并可以采用碱性水溶液显影。所述光敏树脂组合物利用至少具有以下通式II表示的结构重复单元的聚合物来制备。在所述式中，R

法律状态公告日

法律状态信息

法律状态
2016-04-06

未缴年费专利权终止 IPC(主分类):C08F 12/32 授权公告日:20090218 终止日期:20150225 申请日:20050225

专利权的终止
2009-02-18

授权

授权
2007-04-25

实质审查的生效

实质审查的生效
2007-02-28

公开

公开

1. 苯乙烯衍生物、苯乙烯聚合物、光敏树脂组合物和图案化方法 [P] . 中国专利： CN1922216A . 2007-02-28
2. (甲基)丙烯酰胺衍生物、聚合物、化学增幅型光敏树脂组合物及其图案化方法 [P] . 中国专利： CN101175777B . 2011-01-12
3. Styrene derivatives, styrene polymer, a photosensitive resin composition, and a pattern forming method [P] . 日本专利： JP4811594B2 . 2011-11-09

机译：苯乙烯衍生物，苯乙烯聚合物，光敏树脂组合物和图案形成方法
4. Styrene derivative, styrene polymer, photosensitive resin composition, and method for forming pattern [P] . 美国专利： US7439005B2 . 2008-10-21

机译：苯乙烯衍生物，苯乙烯聚合物，光敏树脂组合物和形成图案的方法
5. Styrene derivative, styrene polymer, photosensitive resin composition, and method for forming pattern [P] . 美国专利： US2007134586A1 . 2007-06-14

机译：苯乙烯衍生物，苯乙烯聚合物，光敏树脂组合物和形成图案的方法