基于三角形网格布局的多频带MEMS超声换能器阵列

摘要

本发明涉及基于三角形网格布局的多频带MEMS超声换能器阵列。现有MEMS超声换能器阵列无法同时具备多频带和二维波束形成的特性，成像性能上具有局限性。本发明包括三个MEMS超声换能器子阵列，每个子阵列包括多个相同中心频率的MEMS超声换能器单元，构成不同MEMS超声换能器子阵列的MEMS超声换能器单元的中心频率不同。对于一个区域中的三种不同中心频率的MEMS超声换能器单元布置在一个等边三角形的三个顶点处，该等边三角形的边长大于任一MEMS超声换能器单元的外接圆直径，以镶嵌形式平铺成MEMS超声换能器阵列。本发明具有更宽的频带范围，同时具备多频带和二维波束形成的特性，成像性能上更有优势。