应用于化学气相沉积系统的气体喷头

摘要

一种应用于化学气相沉积系统的气体喷头，包含一个或多个气体分流层，每个气体分流层包含中央区域、多个间隔排列的气导，以及多个气体通道。该中央区域用以容置布气装置。每个该气导具有第一端、第二端以及中段，该中段位于第一端和第二端之间，该第一端接近该中央区域，该第二端接近该气体分流层的周边。每两个气导构成一个气体通道，使通过由布气装置提供的气体。其中，每个气导的宽度沿着第一端至中段逐渐增加，沿着中段至第二端逐渐减少。