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SS-OCT间距测量中获取更小镜像残余的消镜像方法及其系统

摘要

本发明公开了一种SS‑OCT间距测量中获取更小镜像残余的消镜像方法及其系统,本发明的方法通过PZT先引起相位震荡后采用遍历迭代算法来获得误差更小的相位,然后带入消镜像算法公式,得到消镜像结果。本发明公开的SS‑OCT间距测量系统包括扫频光源、环形器、波分复用器、光纤耦合器、参考臂、样品臂、光电探测器、数据采集设备及电子计算机。本发明不同于传统的直接利用PZT产生位移,而是通过PZT先引起相位震荡后采用算法上的遍历迭代来获得误差更小的相位。应用在光学表面间距测量上,成倍提升了测量量程,且得到镜像残余更小的效果,获得了更好的消镜像效果。

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