公开/公告号CN108836482B
专利类型发明专利
公开/公告日2021-04-30
原文格式PDF
申请/专利权人 美好罗伯特有限公司;
申请/专利号CN201810388765.5
申请日2018-04-27
分类号A61B34/30(20160101);A61B17/00(20060101);
代理机构11038 中国贸促会专利商标事务所有限公司;
代理人李鹏宇
地址 日本兵库县
入库时间 2022-08-23 11:43:16
机译: 使用该扫描隧道显微镜的悬臂驱动机构的制造方法,探针驱动机构的制造方法,悬臂驱动机构,探针驱动机构以及多探针驱动机构,信息处理装置
机译: 制造悬臂驱动机构的方法,制造探针驱动机构,悬臂驱动机构,探针驱动机构和使用相同方法的电子设备的方法
机译: 悬臂驱动机构的制造方法,探针驱动机构的制造方法,悬臂驱动机构,探针驱动机构以及使用该方法的电子设备