一种高真空多弧离子镀膜机的工具镀膜转架装置

摘要

本发明公开的一种高真空多弧离子镀膜机的工具镀膜转架装置，包括上下相对设置的下转盘和上转盘，下转盘的边缘位置设置有一圈中心对称的U型通孔，沿U型通孔垂直方向设置有下轴承，下轴承上连接下传动轴，每个下传动轴下端嵌套有小齿轮，小齿轮啮合在位于下转盘下方中心位置的大齿轮上；下传动轴上连接有嵌套设置在工件转盘上的上传动轴，工件转盘上设置有工件座，工件座下面设置有若干个均匀分布的自转齿轮，上转盘和下转盘之间固定有一圈均匀分布的支撑柱，支撑柱位于下传动轴或上传动轴的内侧，每个支撑柱上还设置有拨杆架，拨杆架一端与自转齿轮相接触。该装置成功解决了传统公转和自转装置结构复杂、高温下转架转速不平稳的技术难题。