基于多折叠支撑梁梳齿谐振器的真空检测器件

摘要

本发明公开了一种基于多折叠支撑梁梳齿谐振器的真空检测器件的结构及制作方法，属于微电子机械系统领域。真空检测器件由多折叠支撑梁(1)、固定梳齿(2)和(3)、可动梳齿(4)和(5)、传动梁(6)、阻尼墙(7)、衬底(8)、锚点(9)和焊盘(10)组成。固定梳齿(2)和(3)、阻尼墙(7)竖立在衬底(8)上。可动梳齿(4)和(5)、传动梁(6)、多折叠支撑梁(1)悬浮在衬底(8)上方，并通过多折叠支撑梁(1)上的锚点(9)支撑在衬底(8)上。阻尼墙(7)布置在多折叠支撑梁(1)附近以增强压膜阻尼，使得这种基于多折叠支撑梁梳齿谐振器的真空检测器件具有较高的测量灵敏度。